雙電測四探針測試儀 型號:TZ24-RTS-9

RTS-9 型雙電測四探針測試儀 采用了四探針雙電測組合(亦稱雙位組合)測量新技術(shù),將范德堡測
量方法推廣應(yīng)用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換，在計算機控制下進(jìn)行兩次電測量，把
采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加與分析，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機械游移等
因素對測量結(jié)果的影響。因而每次測量不必知道探針間距、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于
每次測量都是對幾何因素的影響進(jìn)行動態(tài)的自動修正，因此顯著降低了幾何因素影響，從而提高了測量
結(jié)果的準(zhǔn)確度。所有這些，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所的儀器是無法實現(xiàn)的。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、
穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-9 型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng) 是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測
試程序在計算機與 RTS-9 型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計
算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦
中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種
數(shù)據(jù)分析。
是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測
試程序在計算機與 RTS-9 型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計
算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦
中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種
數(shù)據(jù)分析。

雙電測四探針測試儀 型號:TZ24-RTS-9

技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍
電阻率：10 -5 ～10 5 ?.cm( 可擴展) ；
方塊電阻：10 -4 ～10 6 ?/ □ ( 可擴展) ；
電導(dǎo)率：10 -5 ～10 5 s/cm ；
電阻：10 -5 ～10 5 ? ；
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑
140mmX150mm(配 配 S-2A 型測試臺) ；
200mmX200mm(配 配 S-2B 型測試臺) ；
400mmX500mm(配 配 S-2C 型測試臺) ；
恒流源
電流量程分為 1µA 、10µA 、100µA 、1mA 、10mA 、100mA 六檔，各檔電流
連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表
量程及表示形式 000.00 ～199.99 mV ；分辨力：10µV ；輸入阻抗＞1000M? ；
精度：±0.1% ；顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、量程自動顯示；
四探針探頭基本指標(biāo)
間距：1±0.01mm ；針間絕緣電阻：≥1000M? ； 機械游移率：≤0.3 ％；
探針：碳化鎢或高速鋼 Ф0.5mm ；探針壓力：5 ～16 牛頓( 總力) ；
模擬電阻測量相對誤差
( 按 按 JJG508-87 進(jìn)行)
0.01? 、0.1? 、1? 、10? 、100? 、1000? 、10000? ≤0.3 ％±1 字
差 整機測量大相對誤差 ( 用硅標(biāo)樣片:0.01-180?.cm 測試) ≤±4 ％
度 整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4 ％
測試標(biāo)準(zhǔn)
采用雙電測測試標(biāo)準(zhǔn)，通過 RTS-9 雙電測測試軟件控制四探針測試儀進(jìn)行測
量并實時采集兩次組合模式下的電壓值，然后根據(jù)雙電測測試原理公式計算
出電阻值。儀器主機也可兼容 RTS-8 四探針測試軟件實現(xiàn)單電測測試標(biāo)準(zhǔn)，
兩套軟件可同時使用。
軟件功能
軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)大值、
小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)
生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到 Excel 中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟
件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。
計算機通訊接口 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境
溫度：23±2 ℃；
相對濕度：≤65 ％；
無高頻干擾；
無強光直射；